實驗室潔凈烘箱,空氣潔凈烘箱,無塵車間潔凈烘箱===蘇州銀邦節能電熱設備有限公司
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我公司生產的潔凈烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到最佳溫度控制精度。無塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、、實驗室等生產及科研部門。潔凈烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵潔凈烤箱詳細資料:
一.特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 10,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
二.執行與滿足標準:
1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件
2.GB2423.2-1989試驗B
三.潔凈烤箱用途:
無塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、、實驗室等生產及科研部門。
無塵潔凈烤箱也可用于非揮發性及非危險物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
四.潔凈烤箱技術參數:
1.名稱及型號:無塵潔凈烤箱 SZYB-LY-001
2.主要技術指標:
2.1無塵等級:Class 10;
2.2溫度范圍: 60~ +300℃;
2.3溫度均勻度:200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6潔凈烤箱擱板為活動形式。(兩箱式)
2.7電源:380v , 50Hz,12Kw
3、潔凈烤箱箱體結構:
3.1潔凈烤箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。