面積㎡
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潔凈度級別
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||
100
|
10,000
|
100,000
|
|
<10
|
2~3
|
2
|
2
|
≥10~<20
|
4
|
2
|
2
|
≥20~<40
|
8
|
2
|
2
|
≥40~<100
|
16
|
4
|
2
|
≥100~<200
|
40
|
10
|
3
|
≥200~<400
|
80
|
20
|
6
|
≥400~<1000
|
160
|
40
|
13
|
≥1000~<2000
|
400
|
100
|
32
|
2000
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800
|
200
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63
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注:表中的面積,對于單向流潔凈室,指的是送風面積;對于非單向流潔凈室,指的是房間面積。
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潔凈度級別
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采樣量,L/次
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≥0.5um
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≥5um
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100
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5.66
|
—
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10,000
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2.83
|
8.5
|
100,000
|
2.83
|
8.5
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A=
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C1+C2+…+Cn
|
N
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M=
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A1+A2+…+An
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L
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SE=
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(A1-M)2+(A2-M)2+…(AL-M)2
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